静电容型压力感测器

摘要

提供一种即使被测定媒体附着沉积于感压隔膜时亦可抑制感压隔膜之弯曲，抑制零点位移之静电容型压力感测器。;本发明之静电容型压力感测器10，具备压力感测器晶片，此晶片系检测对应被测定媒体之压力之静电容，其特征在于：压力感测器之感测器隔膜111之一面111b为将被测定媒体导入之压力导入室侧，另一面111a为形成电容器部之电容器室侧；感测器隔膜，其刚性从作为电容器室侧之与隔膜固定部16,17之边界之周缘部111f朝向部111g降低。