用于探针卡之板件、制造该板件之方法，及探针卡;BOARD FOR PROBE CARD, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND PROBE CARD

摘要

一种用于探针卡之板件，该板件包括陶瓷基板(该陶瓷基板包括第一绝缘层、以及布置于第一绝缘层之一表面上且含用于接收电子组件之凹穴的第二绝缘层)、布置于该第一和第二绝缘层上之导电图样、电连接该导电图样之导电贯孔、以及布置于该凹穴中之电容器。该凹穴之深度大于该电容器之厚度，用以在接收该电容器后，紧固该凹穴之下部位中的空间。