发明名称 |
喷淋蚀刻机 |
摘要 |
喷淋式蚀刻机,包括机体以及与机体的连接的药液循环系统,其中,机体主要由清洗区,与清洗区紧密衔接的蚀刻区两部分组成,清洗区和蚀刻区上方均设置有喷淋装置,清洗区侧板下方设置有同步带传送装置,蚀刻区右下方设置有伺服驱动电机,机体下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的滑轨,滑轨上配装有托盘,机体两侧侧板下方设置有贯穿清洗区与蚀刻区的回型防水槽,药液循环系统主要由DA水罐体、化学药液罐体以及相应的管道、阀门以及循环泵组成;本发明在蚀刻玻璃面板的过程中,可以对药液的温度、压力、流量等实行全自动控制,对蚀刻玻璃面板实现双面瀑布流蚀刻,工作过程中,无需人工操作,清洗、蚀刻全部自动完成,蚀刻精度和效率得到显著提升。 |
申请公布号 |
CN104445969A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201410587717.0 |
申请日期 |
2014.12.31 |
申请人 |
成都工投电子设备有限公司 |
发明人 |
蒲中军;邓飞;徐晓君;王川;吴永寿;宣继;李政昊;王月利;钟耀;邓欢 |
分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
喷淋式蚀刻机,其特征在于:该机包括机体(1)以及与机体(1)的连接的药液循环系统(2),其中,机体(1)主要由清洗区(10),与清洗区(10)紧密衔接的蚀刻区(11)两部分组成,所述清洗区(10)与蚀刻区(11)均设置有相应的清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110),清洗区驱动门(100)和蚀刻区驱动门(110)把清洗区(10)和蚀刻区(11)隔离成两个相互独立的工作区,所述清洗区(10)上方设置有清洗喷淋装置(101),清洗区(10)侧板下方设置有同步带传送装置(102),所述蚀刻区(11)上方设置有活动可拆卸的蚀刻喷淋装置(111),蚀刻区(11)右下方设置有伺服驱动电机(112),所述机体(1)下方设置有贯穿清洗区(10)与蚀刻区(11)的滑轨(13),滑轨(13)配装有相适应的托盘(14),机体(1)两侧侧板下方设置有贯穿清洗区(10)与蚀刻区(11)的回型防水槽(15);药液循环系统(2)主要由DA水罐体(20)、化学药液罐体(21)以及与机体(1)相连接的管道、阀门以及循环泵组成,所述化学药液罐体(21)上设置有液位指示器(210)、底部设置有加热器(211),顶部设置有冷却水连接器(214)以及恒温传感装置(216)。 |
地址 |
610512 四川省成都市新都区新都镇白云路789号 |