模组化自动加药机

主权项

一种模组化自动加药机，其可供至少一晶圆切割机使用，该模组化自动加药机，其包含： 一下层机台，其具有一容置空间，用以放置一药液桶及至少一控制模组，该至少一控制模组系一对一电连接该至少一晶圆切割机，且该下层机台之侧缘相对于该药液桶处具有一对外开口，该对外开口设有一拆离式之外盖；以及 一上层机台，其拆离式设于该下层机台上方，并于内部设有至少一泵浦，该至少一泵浦系一对一电连接该至少一控制模组，并皆有一输入管线以连通于该药液桶、以及一输出管线以连通于该至少一晶圆切割机； 藉此，该至少一控制模组可分别接收该至少一晶圆切割机之指令，以分别控制该至少一泵浦之作动，令该至少一泵浦可将该药液桶内之药液供给该至少一晶圆切割机使用。