液体喷射装置和用于生产液体喷射装置的方法

摘要

提供液体喷射装置和用于生产液体喷射装置的方法。液体喷射装置包括：喷嘴；第一带通道结构，限定与喷嘴连通的第一液体通道；第二液体通道；连通开口，连接第一和第二液体通道；层积体，包括压电元件和金属层，具有由第一带通道结构支撑的第一部和在第一液体通道上延伸且不由第一带通道结构支撑的第二部，连通开口穿过第二部延伸使第二部包围连通开口；第二部包括包围连通开口的金属层。方法包括：形成第一电极；形成金属层；在第一电极上形成压电层；在压电层上形成在第一电极的相反侧的第二电极；设置与连通开口连通的压力室；在压力室上延伸的无支撑部处形成金属层。本发明防止对在连通开口的周围与带通道结构面对的周向面对部的损坏。

主权项

一种液体喷射装置，包括：喷嘴；第一带通道结构，所述第一带通道结构限定第一液体通道，所述第一液体通道与所述喷嘴连通；第二液体通道；连通开口，所述连通开口连接所述第一液体通道和所述第二液体通道；和层积体，所述层积体包括压电元件和金属层，所述层积体具有第一部和第二部，所述第一部由所述第一带通道结构支撑，所述第二部在所述第一液体通道上延伸，并且所述第二部不由所述第一带通道结构支撑，所述连通开口穿过所述层积体的所述第二部延伸，使得所述第二部包围所述连通开口，其中所述层积体的所述第二部包括包围所述连通开口的所述金属层。