一种蒸镀坩埚以及OLED材料的蒸镀装置

摘要

本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体以及加热装置，所述坩埚本体用于容纳蒸镀材料，所述加热装置用于对所述蒸镀材料进行加热，所述坩埚本体开口端设置有一坩埚盖子，所述坩埚盖子中设置有蒸镀孔；其中，所述坩埚本体中设置有一两端均为开口的中空结构件，所述中空结构件的一端穿过所述坩埚本体的底部并与坩埚本体的底部固定连接，另一端位于所述坩埚盖子下方并且正对于所述蒸镀孔；所述中空结构件中设置有一杆状件，所述杆状件在一动力装置的驱动下可在所述中空结构件中自由移动，并且，所述杆状件在所述动力装置的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔中。本发明还公开了包含该蒸镀坩埚的OLED材料的蒸镀装置。

主权项

一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体(10)以及加热装置(40)，所述坩埚本体(10)用于容纳蒸镀材料(30)，所述加热装置(40)用于对所述蒸镀材料(30)进行加热，所述坩埚本体(10)的开口端设置有一坩埚盖子(20)，所述坩埚盖子(20)中设置有蒸镀孔(21)；其特征在于，所述坩埚本体(10)中设置有一两端均为开口的中空结构件(50)，所述中空结构件(50)的一端穿过所述坩埚本体(10)的底部并与坩埚本体(10)的底部固定连接，另一端位于所述坩埚盖子(20)下方并且正对于所述蒸镀孔(21)；所述中空结构件(50)中设置有一杆状件(60)，所述杆状件(60)在一动力装置(70)的驱动下可在所述中空结构件(50)中自由移动，并且，所述杆状件(60)在所述动力装置(70)的驱动下，至少部分可移动至所述蒸镀孔(21)中。