一种频率可调的微扫描反射镜及其荧光成像应用

摘要

本发明公开了一种频率可调的微扫描反射镜及其荧光成像应用，包括反射镜，特点是反射镜包括使反射镜上下翻转的内轴和使反射镜左右翻转的外轴，反射镜还设置有用于驱动内轴旋转的第一组梳状驱动装置和用于驱动外轴旋转的第二组梳状驱动装置，第一组梳状驱动装置包括多个围绕内轴固定不动的定子梳齿和多个围绕内轴可旋转一定角度的转子梳齿，第二组梳状驱动装置包括多个围绕外轴固定不动的定子梳齿和多个围绕外轴可旋转一定角度的转子梳齿，定子梳齿与转子梳齿上下错开间隔分布，内轴和外轴均设置有调谐反射镜的热电加热装置，优点是能使微扫描反射镜扫描频率、振幅和相位可以调整，能耗较少的同时的不会降低光学分辨率和视场大小。

主权项

一种频率可调的微扫描反射镜，包括反射镜，其特征在于，所述的反射镜包括使反射镜上下翻转的内轴和使反射镜左右翻转的外轴，所述的反射镜还设置有用于所述的内轴旋转的第一组梳状驱动装置和用于驱动所述的外轴旋转的第二组梳状驱动装置，所述的第一组梳状驱动装置包括多个围绕所述的内轴固定不动的定子梳齿和多个围绕所述的内轴旋转一定角度的转子梳齿，所述的第二组梳状驱动装置包括多个围绕所述的外轴固定不动的定子梳齿和多个围绕所述的外轴旋转一定角度的转子梳齿，所述的定子梳齿与所述的转子梳齿上下错开间隔分布，所述的内轴和所述的外轴均设置有调谐所述的反射镜的热电加热装置，所述的反射镜的外周设置有可旋转的反射镜活动框，所述的内轴设置在所述的反射镜活动框上且位于所述的反射镜的外沿，所述的内轴在电压的驱动下带动反射镜上下翻转，所述的反射镜与所述的反射镜活动框通过内轴一体连接，所述的外轴设置在所述的反射镜活动框外沿且所述的外轴在电压的驱动下带动所述的反射镜与所述的反射镜活动框整体左右翻转，所述的热电加热装置由P型掺杂形成的用于协助热电在轴内流动产生热量的肖特基二极管。