行进车系统

摘要

本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

主权项

一种行进车系统，其特征在于，具备：基板处理装置，实施基板的保管或规定的处理；无人行进台车，具有使上述基板在收容在基板盒中的状态下沿上下方向升降的升降部以及将上述基板盒朝向上述基板处理装置水平移动的水平移动部，将上述基板盒沿着朝向上述基板处理装置设置的轨道输送；基板盒保管部，在上述轨道的上方保持并保管基板盒，在上述基板盒的侧板上设有四个被保持部件；在上述基板盒保管部上设有卡合到上述四个被保持部件上的四个保持部件，在上述基板盒保管部中的上述四个保持部件之间形成有使上述基板盒能够在从上述四个保持部件离开的状态下沿上下通过的空间；上述水平移动部以及上述无人行进台车的行进部的一方使在上述四个被保持部件比上述四个保持部件定位于更上方的状态下的上述基板盒沿着水平方向移动通过上述空间，并且上述升降部使上述基板盒下降而使上述四个被保持部件卡合于上述四个保持部件，使上述基板盒保持于上述基板盒保管部。