| 摘要 |
<p>【課題】膜液の基板上への吐出と、基板上に形成された塗布膜の乾燥とを、コンパクトな装置で行い得るようにすると共に、前記吐出から前記乾燥までに要する時間の大幅な短縮を図り、更には膜液の使用効率を可及的に向上させる塗布膜形成乾燥装置を提供する。【解決手段】基板３上に膜液を吐出して塗布膜を形成する膜液吐出部２と、基板３上に形成された塗布膜を乾燥させる塗布膜乾燥部になる１３、３５、３６とを備え、膜液吐出部２はインクジェットヘッド５を有すると共に、膜液吐出部２と塗布膜乾燥部との間で基板３の搬送を行う搬送ロボット４０を有し、膜液吐出部２と、塗布膜乾燥部と、搬送ロボット４０とが、単一の包囲体の内部空間に収容される。【選択図】図１７</p> |
