一种基于二维光子晶体的微粒精密控制器

摘要

一种基于二维光子晶体的微粒精密控制器，包括：硅衬底、二氧化硅衬底、硅平板、二维硅光子晶体波导、续接波导、金属钛-铝电极、介质覆盖层；本发明利用二维硅光子晶体波导的带隙效应、硅基材料的热光调控机理及光学力，实现小体积、轻量化和高精度的空间微粒位置控制功能。

主权项

一种基于二维光子晶体的微粒精密控制器，其特征在于包括：硅衬底(1)、二氧化硅衬底(2)、硅平板(3)、金属钛‑铝电极(6)和介质覆盖层(7)；硅衬底(1)用于承载整个微粒精密控制器结构，二氧化硅衬底(2)位于硅衬底(1)之上，用于支撑硅平板(3)；硅平板(3)位于二氧化硅衬底(2)之上，用于制作二维硅光子晶体波导(4)与续接波导(5)；所述二维硅光子晶体波导(4)与续接波导(5)是在所述硅平板(3)上制作而成；金属钛‑铝电极(6)位于硅平板上方，用于加热二维硅光子晶体波导(4)；介质覆盖层(7)位于硅平板上方，将金属钛‑铝电极(6)夹在介质覆盖层(7)和硅平板(3)中间并且将金属钛‑铝电极(6)覆盖；二维硅光子晶体波导(4)与续接波导(5)的上方为空，二维硅光子晶体波导(4)与续接波导(5)的下方与硅衬底(1)上表面之间为空。