| 发明名称 |
磁致伸缩膜、磁致伸缩元件、扭力感测器、力感测器、压力感测器及其制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI501434 |
申请公布日期 |
2015.09.21 |
| 申请号 |
TW099125684 |
申请日期 |
2010.08.03 |
| 申请人 |
国立研究开发法人科学技术振兴机构 |
发明人 |
本江克次;中岛浩二;石川智仁;杉山雅治;五十岚贵教;脇若弘之;牧野彰宏;井上明久 |
| 分类号 |
H01L41/12;H01L41/22;C23C4/12;G01L3/10;G01L1/12 |
主分类号 |
H01L41/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种磁致伸缩膜，系由熔射形成在被检体上之金属玻璃之膜所构成，该金属玻璃之膜之特征为，过冷却液体温度区域△Tx为30K以上，且以比玻璃迁移温度低且在居里点温度以上进行热处理，该磁致伸缩膜在-15kA/m以上、+15kA/m以下之磁场范围中之至少一部分的范围内，显现磁场与磁致伸缩之直线特性，前述过冷却液体温度区域△Tx系指玻璃迁移温度Tg与结晶化开始温度Tx之间的温度区域。
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| 地址 |
日本 |
