| 摘要 |
<p>Sensorelement mit einem empfindlichen Sensorteil (2) an der Oberseite einer Substratschicht (11), wobei die Oberseite der Substratschicht (11) mit einer Aussparung (6, 7) an dem Umriss des empfindlichen Sensorteils versehen ist, wobei eine dritte Substratschicht (13) auf einer Unterseite einer zweiten Substratschicht (12) vorgesehen ist, die Aussparung (6, 7) sich bis zu der Unterseite der zweiten Substratschicht (12) erstreckt, und die zweite Substratschicht (12) an die dritte Substratschicht (13) in einer Region außerhalb der Aussparung (6, 7) befestigt ist.</p> |
