黏度感测系统、黏度感测方法以及电晶体式黏度感测器;VISCOSITY SENSING SYSTEM, VISCOSITY SENSING METHOD AND TRANSISTOR TYPE VISCOSITY SENSOR

摘要

一种黏度感测系统包括电晶体式黏度感测器、电性量测单元以及判断单元。所述电晶体式黏度感测器包括半导体结构、源极以及汲极。半导体结构包括氮化镓层以及设置于氮化镓层上的铝氮化镓层，源极以及汲极与铝氮化镓层欧姆接触。位于源极与汲极之间的半导体结构具有一闸极区域，闸极区域具有裸露的表面，用以接触待测流体。电性量测单元电性连接至源极以及汲极，并用以量测半导体结构的电性讯号。判断单元耦接于电性量测单元，并判断单元用以根据电性量测单元所量测得的电性讯号判断待测流体之黏度。