基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置

摘要

本发明公开了一种基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置，解决了现有二维位移测量中，测量系统体积较大，数学处理方法复杂的问题，包括：光源、反射镜、聚焦透镜、光阑、准直透镜、二维测量光栅、二维位移平台、第一探测器、第二探测器和光谱仪。当光源发出的宽带光通过反射镜后平行入射到聚焦透镜上，聚焦后的光通过光阑、准直透镜垂直入射到二维测量光栅上，光束在二维测量光栅上发生衍射，探测器以固定角度接收衍射光，探测的信号经光谱仪分析处理。本发明所述的装置在测量过程中准确方便，并减少了装置的体积。

主权项

基于变间距光栅衍射的二维位移测量装置，该装置包括光源、反射镜、聚焦透镜、光阑、准直透镜、二维测量光栅、二维位移平台、第一探测器、第二探测器和光谱仪，光源发出的宽带光经反射镜入射到聚焦透镜上，聚焦后的光通过光阑和准直透镜垂直入射到二维测量光栅上，光束在二维测量光栅上发生衍射，衍射光以固定角度被第一探测器、第二探测器接收，探测的信号通过光谱仪分析处理。