发明名称 用于机械加工平坦基材的通用固定装置
摘要 一种用于向工作平台(14)安装平坦工件(12)的固定装置设备(10),其至少具有分开放置的第一和第二真空安装元件(20a-20b),其中每个真空安装元件具有基座(22),所述基座(22)具有下接触表面(24)和夹持表面(28),所述下接触表面(24)抵靠工作平台安装,所述夹持表面(28)与所述下接触表面间隔开。存在凸起部分(26),该凸起部分(26)与下接触表面呈直角延伸,并且该凸起部分(26)具有与下接触表面平行的上接触表面以抵靠平坦工件安置,其中下接触表面和上接触表面之间的高度尺寸是均匀的,在±0.02mm之间。在凸起部分中挖空的真空室(40),所述真空室(40)与真空口流体连通,用于通过真空室提供真空作用力以将工件固定于上接触表面。
申请公布号 CN104918748A 申请公布日期 2015.09.16
申请号 CN201380052318.8 申请日期 2013.08.01
申请人 康宁股份有限公司 发明人 唐玉银;Y·鲍
分类号 B23Q3/08(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 主分类号 B23Q3/08(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 项丹;沙永生
主权项 一种用于对工作平台安装平坦工件的固定装置设备,该设备包括:至少第一和第二独立安置的真空安装元件,其中每个真空安装元件具有:(i)具有下接触表面和夹持表面的基座,所述下接触表面抵靠工作平台安装,所述夹持表面与所述下接触表面间隔开;(ii)凸起部分,该凸起部分与下接触表面呈直角延伸,该凸起部分具有与下接触表面平行的上接触表面以抵靠平坦工件安置,其中下接触表面和上接触表面之间的高度尺寸是均匀的,在+/‑0.02mm之间;以及(iii)在凸起部分中挖空的真空室,所述真空室与真空口流体连通,用于通过真空室提供真空作用力以将工件固定于上接触表面。
地址 美国纽约州