图案化柱的方法;METHOD OF PATTERNING PILLARS

摘要

所揭示技术系关于图案化伸长结构之方法。在一态样中，一形成柱之方法包括提供一基板及在该基板之一表面上提供复数个珠粒。该表面之没有直接上覆珠粒的区域被暴露。该方法额外地包括选择性地蚀刻在该等珠粒之间的该基板之该等经暴露区域，使得复数个柱形成于由该等珠粒遮蔽之区域的下方。选择性蚀刻完全地移除该等珠粒中之至少一些。未由珠粒覆盖的柱被蚀刻，藉此留下一些高于其他柱的柱，其中柱高度取决于经移除珠粒使柱暴露于蚀刻剂的时间量。