乾蚀刻用处理室内构件之制造方法;MANUFACTURING METHOD OF MEMBER USED IN CHAMBER CARRYING OUT DRY ETCHING

摘要

本发明系一种乾蚀刻用处理室内构件的制造方法，其课题为提供：可将气孔率小而耐蚀性高之溶射皮膜，经由可简便地实施之溶射法，而形成于乾蚀刻用处理室内构件之乾蚀刻用处理室内构件的制造方法。;解决手段系经由电浆溶射而于使用于乾蚀刻用处理室内之构件，形成氧化钇涂膜之方法而解决。作为作动气体而使用H2气体及Ar气体，呈将Ar气体的流量作为60~75公升/分，而Ar气体/H2气体的流量之容积比则成为6~8地，于电浆溶射机，供给Ar气体及H2气体，而使对于H2气体而言之Ar气体的流量增加者，使电浆喷注的速度上升，且使电浆喷注之温度下降，对于该电浆喷注而言，作为原料粉末而投入粒径10~20μm之氧化钇微粉末，再溶射包含熔融于前述构件表面之氧化钇微粉末之电浆喷注。