液体处理装置、液体处理方法及记录有用来实行此液体处理方法之程式的记录媒体

主权项

一种液体处理装置，包含：复数液体处理部，其各自对被处理体供给处理液以对该被处理体进行液体处理；共通排气管路，其将该复数液体处理部的气体环境排出，该复数液体处理部各具有连结该共通排气管路的个别排气管路，且该个别排气管路具有将该个别排气管路自由开闭的开闭机构；外气吸入部，其设置于该共通排气管路内，将外气吸入该共通排气管路；吸入量调整阀，其设置在该共通排气管路内，可调整从该外气吸入部所吸入之外气的流量；以及控制部，其根据该开闭机构为开启状态的数量，控制该吸入量调整阀的开度，用以抑制该复数液体处理部内的压力变动。