发明名称 Rastersondenmikroskop und Probenbeobachtungsverfahren unter Verwendung desselben
摘要 Der Zweck der vorliegenden Erfindung ist die Erhöhung der erfassten Lichtmenge des Nahfeldlichts, das in einer Flüssigkeit zwischen einer Messsonde und einer zu untersuchenden Probe erzeugt wird, bei der Verwendung eines Rasternahfeldmikroskops für die Messung in einer Flüssigkeit und die Verbesserung der Messreproduzierbarkeit und des Signal-Rauschabstands von Nahfeldlichtbildern. Die vorliegende Erfindung stellt ein Rastersondenmikroskop bereit, aufweisend eine Messsonde zum relativen Abtasten einer untersuchenden Probe, ein Laserstrahl-Bestrahlungssystem zum Bestrahlen der Messsonde mit einem Laserstrahl, eine Probenzelle, die die zu untersuchende Probe enthält und Streulicht des durch die Laserstrahlbestrahlung zwischen der Messsonde und der zu untersuchenden Probe erzeugten Nahfeldlichts durchlässt, und einen Detektor, der das Streulicht erfasst, das durch die Probenzelle hindurchtritt.
申请公布号 DE112013005632(T5) 申请公布日期 2015.09.10
申请号 DE20131105632T 申请日期 2013.10.28
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 NAKATA, TOSHIHIKO;BABA, SHUICHI
分类号 G01Q60/18;G01Q30/14;G01Q60/22 主分类号 G01Q60/18
代理机构 代理人
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