玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置

摘要

玻璃处理装置是内壁的至少一部分由包含铂族金属的材料构成、使熔融玻璃流动并对所述熔融玻璃进行处理的装置，构成为由所述熔融玻璃的表面和所述内壁在内部形成气相空间。沿着所述熔融玻璃的流动方向而形成所述气相空间。在处理所述熔融玻璃时，在所述气相空间的所述壁，使用所述玻璃处理装置的加热以及散热的至少一个形成从所述壁中的最高温度沿着所述熔融玻璃的流动方向的上游方向或者下游方向具有温度梯度的温度梯度区域。为了能够抑制存在于所述气相空间的挥发的铂族金属的挥发物的凝集，使所述温度梯度区域中的所述最高温度和最低温度的温度差为150℃以下。

主权项

一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有：熔解玻璃原料而生成熔融玻璃的熔解工序；以及使熔融玻璃在内壁的至少一部分由包含铂族金属的材料构成的玻璃处理装置的内部流动、以在所述玻璃处理装置的内部处理所述熔融玻璃的处理工序，在所述玻璃处理装置的内部，由所述熔融玻璃的表面和所述内壁形成气相空间，沿着所述熔融玻璃的流动方向形成所述气相空间，在所述处理工序中，在形成所述气相空间的所述内壁，使用所述玻璃处理装置的加热以及所述玻璃处理装置的散热中的至少一个形成温度梯度区域，所述温度梯度区域具有从所述内壁中的最高温度沿着所述熔融玻璃的流动方向中的上游方向或者下游方向的温度梯度，为了抑制存在于所述气相空间的挥发的铂族金属的挥发物的凝集，使所述温度梯度区域中的所述最高温度和最低温度的温度差为150℃以下。