非线性误差的绝对测量方法及装置

摘要

本发明提供了一种非线性误差的绝对测量方法及装置，其中，非线性误差的绝对测量方法包括：将N个拼接在一起的反射板同时放置于光学测量仪器的样品口，其中，各个所述反射板在所述样品口的覆盖面积相同；在所述光学测量仪器的光路中放置光阑；按照所述光学测量仪器需要测量非线性误差的测量量程，调整使用的反射板的个数，并在每次调整后，获取调整后的所述反射板放置于所述样品口时，所述光学测量仪器的输出结果；对所述输出结果进行非线性误差计算处理，获取所述光学测量仪器输出结果的非线性误差。通过本申请，在保证非线性误差测量精度的同时，实现了对光学测量仪器最终输出结果的非线性误差的测量。

主权项

一种非线性误差的绝对测量方法，包括：将N个拼接在一起的反射板同时放置于光学测量仪器的样品口，其中，各个所述反射板在所述样品口的覆盖面积相同，所述N为大于或等于2的自然数；在所述光学测量仪器的光路中放置光阑，在所述样品口形成与所述N个反射板对应的N个光学区域，其中，所述N个光学区域均不覆盖所述反射板的边缘；按照所述光学测量仪器需要测量非线性误差的测量量程，调整使用的反射板的个数，并在每次调整后，获取调整后的所述反射板放置于所述样品口时，所述光学测量仪器的输出结果；对所述输出结果进行非线性误差计算处理，获取所述光学测量仪器输出结果的非线性误差。