アルミニウム被覆された銅ボンディングワイヤ、および、その製造方法

摘要

本発明は、表面および被覆層を備えた銅製のコアを有するワイヤであって、前記被覆層は当該コアの表面に重ねられており、当該被覆層はアルミニウムを含み、当該ワイヤの横断面における前記被覆層の占有面積は、当該ワイヤの全横断面積に対して２０ないし５０％の範囲内であり、横断面において当該ワイヤを貫通したときの最長距離と最短距離とのアスペクト比は０．８ないし１．０を上回る範囲であり、当該ワイヤの直径は１００μｍないし６００μｍの範囲内である、ワイヤに関する。前記ワイヤは有利には、マイクロエレクトロニクス装置におけるボンディング用のボンディングワイヤである。本発明はさらに、ワイヤの製造方法、当該製造方法の結果物であるワイヤ、少なくとも２つの素子と少なくとも上述のワイヤとを備えた電気的装置、当該電気的装置を含む推進装置、および、上述のワイヤを用いてウェッジボンディング法により２つの部品を接続する方法にも関する。