纯离子真空镀膜设备中用于延长绝缘材料维护周期的装置

摘要

本实用新型涉及一种纯离子真空镀膜设备中用于延长绝缘材料维护周期的装置，包括偏压磁过滤器和接地阳极之间设置的环形绝缘垫板，环形绝缘垫板内设置有环形的绝缘挡环；绝缘挡环的截面为L形，绝缘挡环包括环管和环管下端外围设置的环板，环板固定在环形绝缘垫板的下板面与接地阳极的上表面之间，环管的高度与环形绝缘垫板的厚度相吻合，环形绝缘垫板的内环壁面上开设有环形槽。上述技术方案中，通过设置绝缘挡环，使得等离子体无法在激发后直接沉积在环形绝缘垫板的内环壁面上，同时在环形绝缘垫板的内环壁面上开设有环形槽，更好地避免环形绝缘垫板被熔融烧坏和延长环形绝缘垫板的维护周期，提高生产效率和沉积较厚及质量较纯的纳米薄膜。

主权项

一种纯离子真空镀膜设备中用于延长绝缘材料维护周期的装置，其特征在于：包括偏压磁过滤器和接地阳极之间设置的环形绝缘垫板，环形绝缘垫板内设置有环形的绝缘挡环；绝缘挡环的截面为L形，绝缘挡环包括环管和环管下端外围设置的环板，环板固定在环形绝缘垫板的下板面与接地阳极的上表面之间，环管的高度与环形绝缘垫板的厚度相吻合。