微机电麦克风装置

摘要

一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。

主权项

一种微机电麦克风装置，其特征在于，包括：一基板，具有一第一凹陷部；一微机电麦克风薄膜，位于该基板上方，且覆盖该第一凹陷部并定义出一第一空腔，该微机电麦克风薄膜包括：一弹性部，位于该微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，该多个第一沟槽彼此分离地沿该弹性部的边缘排列，且该多个第一沟槽贯穿该弹性部的相对两面；以及一结合部，位于该微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接该弹性部；以及一氧化层，具有一第二凹陷部，连接该微机电麦克风薄膜的该结合部，该第二凹陷部暴露出至少部分的该微机电麦克风薄膜。