| 主权项 |
一种用于抛光基板的方法，所述方法通过移动安装有抛光垫的上板来进行，其中，所述上板沿着四边形路径执行抛光工艺，以及其中，所述上板在所述基板的纵向上移动的行程范围S1和所述上板在所述基板的横向上移动的行程范围S2是被安装在所述上板上的所述抛光垫的直径(D)的90％到100％，其中，所述S1和所述S2具有由以下公式1和2计算的值中的最小值：公式1D‑d公式2<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><msup><mi>D</mi><mo>′</mo></msup><mo>+</mo><mfrac><mrow><mi>D</mi><mo>-</mo><msup><mi>D</mi><mo>′</mo></msup></mrow><mrow><mn>2</mn><mo>-</mo><mrow><mo>(</mo><mfrac><msub><mi>P</mi><mi>end</mi></msub><msub><mi>P</mi><mi>eff</mi></msub></mfrac><mo>)</mo></mrow></mrow></mfrac></mrow>]]></math><img file="FDA0000679892860000011.GIF" wi="418" he="256" /></maths>其中，d：所述抛光垫的边缘部分中的磨损部分的径向长度的总和；D'：所述抛光垫施加到所述基板的压力等于或大于适合磨损所述基板的有效压力(P<sub>eff</sub>)的部分的直径；P<sub>end</sub>：在所述抛光垫除了所述磨损部分之外的部分中的最外面的点处，所述抛光垫施加到所述基板的压力；以及P<sub>eff</sub>：所述抛光垫施加到所述基板的适合磨损所述基板的压力。 |
