多级干式真空泵

摘要

揭示一种多级干式真空泵，结构简单、紧凑，仅需少量部件，冷却性能最佳，材料廉价，设备不会热变形，能通过增加背压完全排放气体，且设施真空度增大。多级干式真空泵包括：多级缸体，有内部容纳空间、一侧的抽吸部分和另一侧的排出部分；成对转子，容纳在缸体内部容纳空间内并彼此啮合地转动；成对泵轴，使转子啮合；马达，驱动至少一根泵轴；成对齿轮，安装在泵轴处并与轴同步转动；气体通道，与多级缸体内部容纳空间连通并沿每个缸体外表面形成螺旋形；内部冷却通道，在气体通道内侧形成同心形状，并呈围绕内部容纳空间两侧的弧形轴向穿过缸体；外部冷却通道，形成同心地围绕气体通道外侧的弧形；冷却风机，安装在马达和泵轴的连接部分处。

主权项

一种多级干式真空泵，包括：多级缸体，所述多级缸体具有内部容纳空间、在一侧的抽吸端口以及另一侧的排出端口，从而压缩比从前级向后级增加；成对转子，所述成对转子容纳在所述缸体的所述内部容纳空间内并彼此相啮合地转动；成对泵轴，所述成对泵轴与所述转子相配合；马达，所述马达驱动所述泵轴中的至少一根；成对齿轮，所述成对齿轮安装在所述泵轴处并与轴同步转动；气体通道，所述气体通道与所述多级缸体的所述内部容纳空间连通，并沿每个缸体的外表面形成螺旋形，从而引导经由所述多级缸体顺次被压缩和传送的气体的排放；内部冷却通道，所述内部冷却通道在所述气体通道的内侧形成同心形状，并呈围绕所述内部容纳空间两侧的弧形而沿轴向穿过所述缸体；外部冷却通道，所述外部冷却通道形成同心地围绕所述气体通道外侧的弧形；以及冷却风机，所述冷却风机安装在所述马达和所述泵轴的连接部分处并依靠所述泵轴的转动而从外部抽吸空气，并借助于所述内部和外部冷却通道沿轴向吹送空气；设置有使所述内部冷却通道与至少一个缸体的内部容纳空间连通的连接通道，所述至少一个缸体包括在多个多级缸体中具有较高压缩比的最高级缸体。