| 发明名称 |
管状靶及制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI498439 |
申请公布日期 |
2015.09.01 |
| 申请号 |
TW102109242 |
申请日期 |
2006.09.19 |
| 申请人 |
攀时欧洲公司 |
发明人 |
亚班森 彼得;莱西特弗利德 葛尔哈德;修伯 卡尔;波基克 彼得;雷克纳 哈诺;威瓦钦尼克 克里斯逊 |
| 分类号 |
C23C14/34;C22C28/00;C22F1/16 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种管状靶，包括由钼的金属粉末或钼合金所形成的钼管，该钼管具有每公克氧含量小于50微克、密度大于理论密度的99%、横向于该管轴向的平均晶粒尺寸小于100微米，以及该钼管具有末端且壁厚度在朝向该管末端增大。 |
| 地址 |
奥地利 |
