流路方块及流体供给控制装置

摘要

可保持良好的维修性并且使装置更小型化或者集中化。流路方块构造成：于内部形成流体之流路，将复数个流体控制机器配列并可装设于配列方向。又，流路方块构造成：可将配列于配列方向之复数个流体控制机器之组以复数个配列并装设于宽度方向。作为上述之流体之第一流路是沿着配列方向设置，使构成上述之组之复数个流体控制机器互相连接。作为上述之流体之第二流路是沿着宽度方向设置，使上述之组的各个互相连接。本发明之特征在于流路方块具有连接部。该连接部形成为：在将二个流路方块并列地邻接配置于宽度方向的状态下，可连接两者之第二流路之间。21