| 发明名称 | 氧化物半导体薄膜晶体管及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种氧化物半导体薄膜晶体管包括源极、漏极、信道层、绝缘层、第一导体以及第二导体。信道层设置于源极以及漏极之间且与源极以及漏极彼此分离。绝缘层覆盖源极、漏极以及信道层。第一导体至少设置于绝缘层的第一开口中以与源极以及信道层接触。第二导体至少设置于绝缘层的第二开口中以与漏极以及信道层接触。 | ||
| 申请公布号 | CN103354244B | 申请公布日期 | 2015.08.26 |
| 申请号 | CN201310273449.0 | 申请日期 | 2013.07.02 |
| 申请人 | 华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司 | 发明人 | 张锡明 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/34(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人 | 胡晶 |
| 主权项 | 一种氧化物半导体薄膜晶体管，其特征在于，包括：一源极以及一漏极；一信道层，设置于该源极以及该漏极之间且与该源极以及该漏极彼此分离；一绝缘层，覆盖该源极、该漏极以及该信道层，该绝缘层具有一第一开口以及一第二开口，该第一开口暴露出部分该源极以及部分该信道层，该第二开口暴露出部分该漏极以及部分该信道层；一第一导体，至少设置于该第一开口中以与该源极以及该信道层耦接；以及一第二导体，至少设置于该第二开口中以与该漏极以及该信道层耦接。 | ||
| 地址 | 215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路555号 | ||