发明名称 含氟芳香族化合物及其制造方法
摘要 本发明公开的是以下通式(1)所示的含氟芳香族化合物及其制造方法。式(1)中,R<sup>1</sup>为羟基或氨基,R<sup>2</sup>~R<sup>5</sup>各自独立地为氢原子、碳数1~4的直链状或者碳数3或4的支链状的烷基,任选该烷基中的一部分或全部氢原子被氟原子取代,n为0~2的整数。m和n各自独立地为0或1。源自该含氟芳香族化合物的聚合物由于在远离聚合物主链的位置含有-C(CF<sub>3</sub>)<sub>2</sub>OH基,因此在抗蚀剂用途中是有用的。<img file="DDA0000463041890000011.GIF" wi="1008" he="672" />
申请公布号 CN103717561B 申请公布日期 2015.08.26
申请号 CN201280037594.2 申请日期 2012.08.08
申请人 中央硝子株式会社 发明人 中辻惇也;松浦诚;山中一广
分类号 C07C39/24(2006.01)I;C07C37/16(2006.01)I;C07C37/20(2006.01)I;C07C39/367(2006.01)I;C07B61/00(2006.01)I 主分类号 C07C39/24(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种含氟芳香族化合物,其用通式(1)表示,<img file="FDA0000463041930000011.GIF" wi="794" he="517" />式(1)中,R<sup>1</sup>为羟基或氨基,R<sup>2</sup>~R<sup>5</sup>各自独立地为氢原子、碳数1~4的直链状或者碳数3或4的支链状的烷基,任选该烷基中的一部分或全部氢原子被氟原子取代,n为0~2的整数,m和l各自独立地为0或1。
地址 日本山口县