承载装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的承载装置及等离子体加工设备，其包括基座、基座驱动机构、压环和挡环，基座用于承载被加工工件；基座驱动机构用于驱动基座上升至工艺位置或下降至卸载位置；压环用于在基座位于工艺位置时压紧置于基座上的被加工工件的边缘区域；挡环环绕在基座的外周壁上，且位于压环的下方；压环与挡环彼此相对的表面包括一对导向环面，其相对于基座竖直方向上的中心线向外倾斜相同角度；并且，在基座驱动机构驱动基座上升的过程中，该对导向环面彼此接触且交错移动，以实现压环与基座的定位。本发明提供的承载装置，其可以直接实现压环与基座的定位，从而不仅可以提高定位的准确度、简化工作流程，而且还可以简化设备结构、降低制造成本。

主权项

一种承载装置，其包括基座、基座驱动机构、压环和挡环，所述基座用于承载被加工工件；所述基座驱动机构用于驱动所述基座上升至工艺位置或下降至卸载位置；所述压环用于在所述基座位于所述工艺位置时压紧置于基座上的被加工工件的边缘区域；所述挡环环绕在所述基座的外周壁上，且位于所述压环的下方，其特征在于，所述压环与挡环彼此相对的表面包括一对导向环面，该对导向环面相对于所述基座竖直方向上的中心线向外倾斜相同角度；并且，在所述基座驱动机构驱动所述基座上升的过程中，该对导向环面彼此接触且交错移动，以实现所述压环与基座的定位。