METHOD FOR POSITION DETECTION AND OPTICAL ALIGNMENT OF MICROHOLE

摘要

미세홀의 일측으로 광 콜리메이터를 통해 레이저 광을 입광 시키고, 미세홀의 타측에서 광 이미지를 머신 비전에 의해 검출함으로써 미세홀의 위치를 검출한다. 이를 통해 빛의 퍼짐 현상 등에 의한 오차가 발생하지 않으며, 정확하고 신속하게 광 정렬을 수행할 수 있다.