ＴＭＲ磁気センサ、及びその製造方法

摘要

【課題】静電気の放電電流による角度検出等の精度の劣化が生じることのないＴＭＲ磁気センサ、及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板の第１の面に絶縁膜を介して形成されたＴＭＲセンサ素子と、前記基板に電気的に接続され、前記基板の前記第１の面に形成された導電体と、前記ＴＭＲセンサ素子と前記導電体の表面を包囲するパッシベーション膜とを有し、前記導電体の少なくとも一部分は、前記パッシベーション膜に形成された開口部に接している。【選択図】図１