一种基于石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器及制作方法

摘要

一种具有室温气敏响应特性的石墨烯基电阻型气体传感器及其制作方法，属于气体传感器技术领域。是以单晶硅为衬底，采用热氧化法在单晶硅表面生成二氧化硅层；在二氧化硅层表面沉积3～5对叉指金电极，在叉指金电极上连接有引线，在二氧化硅层和叉指金电极表面涂覆有气体敏感薄膜，该气体敏感薄膜为石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌三元复合材料，薄膜的厚度为10～50μm；气体敏感薄膜接触待测气体前后，其电阻会发生变化，通过测量叉指金电极间电阻的变化，可以获得传感器的灵敏度。感器在室温下具有很高的响应灵敏度、快速的响应恢复速率和良好的响应可逆性，解决了氧化锌气体传感器通常需要在高温下才能工作的问题。

主权项

一种在室温下具有高灵敏度气体响应特性的石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器，其特征在于：是以单晶硅(1)为衬底，采用热氧化法在单晶硅表面生成二氧化硅层(2)；在二氧化硅层(2)表面沉积3～5对叉指金电极(3)，在二氧化硅层(2)和叉指金电极(3)表面涂覆有石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌三元复合材料薄膜(4)；三元复合材料中石墨烯、多壁碳纳米管、氧化锌的三者质量比为1：0.4～20：18～900。