层合薄膜及挠曲性电子装置

摘要

一种层合薄膜，其为具有可挠性基材，与形成于前述基材的至少单侧之表面上的第1薄膜层，与形成于第1薄膜层上的第2薄膜层的层合薄膜，其中，前述第1薄膜层为含有矽原子(Si)、氧原子(O)及碳原子(C)，前述第2薄膜层为含有矽原子、氧原子及氮原子(N)，前述第1薄膜层及第2薄膜层为，使用辉光放电电浆所形成者。