用于半导体检测及微影系统之级装置;STAGE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR INSPECTION AND LITHOGRAPHY SYSTEMS

摘要

在可相对于一级框架移动之一级之一卡盘上接纳一半导体样本。使该级、卡盘及样本在用于检测或曝光该样本之一检测或曝光头部下方移动，且多个2D编码器头部系与该卡盘耦合。多个2D编码器尺系与该头部插入穿过之一基底耦合，且一级编码器经定位于该级框架上。基于由该等2D编码器头部中之至少一者侦测之一位置控制该级、卡盘及样本之移动，直至到达在未由该等2D编码器尺覆盖之一间隙内之一预定义位置。当到达在该间隙内之此预定义位置时，将该级、卡盘及样本之移动控制切换至基于由该级编码器侦测之一位置。