| 摘要 |
<p>Herstellungsverfahren für einen Dünnschicht-Konstruktionskörper, der folgendes aufweist: einen leitfähigen Abstützteil (23b, 25a), der auf einer auf einer Oberfläche eines Substrats (1) ausgebildeten Verdrahtung (41, 43, 45) ausgebildet wird; und einen leitfähigen, schwebenden Teil (21, 23a, 25b, 25c), der von dem Abstützteil abgestützt wird und mit einem vorbestimmten Abstand von dem Substrat angeordnet wird, wobei das Herstellungsverfahren folgende Schritte aufweist:–Bilden einer Vertiefung (33a) mit einer Tiefe, die nicht geringer ist als die Schichtdicke der Verdrahtung, auf der Oberfläche des Substrats in einem Bereich, der zumindest einem unter dem Abstützteil plazierten Bereich der Verdrahtung entspricht;–Bilden der Verdrahtung auf der Oberfläche des Substrats, in der die Vertiefung ausgebildet worden ist;–Bilden einer Opferschicht (51), die die Oberfläche der Verdrahtung sowie die Oberfläche des Substrats überdeckt;–Bilden eines Verankerungsöffnungsteils (51a) durch selektives Entfernen eines Bereichs der Opferschicht, auf dem der Abstützteil gebildet werden soll;–Aufbringen einer Dünnschichtlage (53) auf die Opferschicht und das durch den Verankerungsöffnungsteil hindurch freiliegende Substrat unter Verwendung eines leitfähigen Materials;–selektives Entfernen und Strukturieren der Dünnschichtlage, so daß verbleibende Bereiche der Dünnschichtlage den Dünnschicht-Konstruktionskörper (21, 23, 25) bilden können; und ...</p> |
