一种大尺寸蓝宝石衬底片的加工方法

摘要

本发明公开了一种大尺寸蓝宝石衬底片的加工方法，属于蓝宝石加工技术领域。它包括以下步骤：1)晶体切割；2）双面粗磨；3）研磨；4）化学机械抛光；5）兆声波清洗；6）成品，所述步骤4包括（a）前处理，将双面抛光机的陶瓷抛光盘置于烘箱加热至200℃后取出，取抛光蜡涂抹于抛光盘上，后将蓝宝石晶片分别置于抛光蜡上,然后取一重物置于所述抛光盘上，待抛光盘冷却至室温后,将重物移走；（b）抛光处理，用粒度为40nm、PH值为11.7且混有FA/O螯合剂的二氧化硅抛光液，在40℃的温度下抛光2小时。本发明通过改善抛光工艺条件，有效提高了蓝宝石表面的晶格完整度和平整度,使得衬底片成品的透光率大幅提升。

主权项

一种大尺寸蓝宝石衬底片的加工方法，包括以下步骤：1)晶体切割；2）双面粗磨；3）研磨；4）化学机械抛光；5）兆声波清洗；6）成品，其特征在于，所述步骤4包括（a）前处理，将双面抛光机的陶瓷抛光盘置于烘箱加热至200℃后取出，取抛光蜡均匀分区域涂抹于抛光盘上，后将蓝宝石晶片分别置于抛光蜡上轻揉至晶片与抛光蜡间没有气泡,然后取一质量均匀的重物置于所述抛光盘上，待抛光盘冷却至室温后,将重物移走；（b）抛光处理，用粒度为40nm、PH值为11.7且混有FA/O螯合剂的二氧化硅抛光液，所述抛光盘的压力为0.12MP，所述抛光盘的转速为70r/min，在40℃的温度下抛光2小时。