| 主权项 |
一种光波导基板之制造方法，其特征为，具有：准备基板之工程；和在前记基板上形成第1包覆层之工程；和在前记第1包覆层上，设置由感光性聚合物材料所成之第1核心构件之工程；和将前记第1核心构件予以加工，在前记第1包覆层上同时形成，将光从前记基板之上方输出入的路径转换成平行于前记基板之方向的反射镜部形成所需的反射镜图案、和至少2个具有凸形状之定位用图案之工程；和将前记反射镜图案之一侧面加工成推拔状而形成具有推拔部的反射镜图案之工程；和使用具有与前记定位用图案嵌合设置的第1开口部、使前记反射镜图案之至少推拔部外露而设置的第2开口部所成的遮罩构件，在藉由前记定位用图案与前记第1开口部嵌合而定位之状态下，在包含从前记第2开口部外露之前记推拔部的前记反射镜图案的表面，形成金属膜之工程；和在包含前记第1包覆层、前记反射镜图案及前记定位用图案的表面上，设置折射率比构成前记第1包覆层之材料还高的感光性聚合物材料所成的第2核心构件之工程；和使用核心图案形成用遮罩构件，在前记定位用图案与该核心图案形成用遮罩构件已定位之状态下，将前记第2
核心构件进行加工，在前记第1包覆层上形成相邻于前记反射镜图案之端部的配线核心之工程；和以覆盖前记第1包覆层及前记配线核心的方式而形成第2包覆层，形成再被前记第1及第2包覆层所包围而成之前记配线核心所成的光波导层之工程。
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