三端多重时间可程式化记忆体位元格及阵列架构

主权项

一种用于记忆体位元格之装置，该装置包含：一第一金属间介电层，该第一金属间介电层具有形成于该第一金属间介电层中之金属化结构；一第一电极，该第一电极透过连接贯孔耦接至该等金属化结构；一第二电极，该第二电极布置于该第一电极之下，并布置于该等金属化结构之上；一绝缘层，该绝缘层布置于该第一电极上；以及一悬臂电极，该悬臂电极连接至一悬臂，该悬臂定位于一空腔中之该第二电极与该第一电极之间，其中该绝缘层布置于该悬臂与该第一电极之间，其中该悬臂可在该第二电极与该绝缘层之间移动，且其中该第一电极以垂直于该绝缘层之至少一个侧围住该空腔。