| 发明名称 | 压阻式Z轴加速度感测器 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种压阻式Z轴加速度感测器，其包括：一基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材；以及一质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材侦测该质量块的位移。 | ||
| 申请公布号 | CN103048489B | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201210005765.5 | 申请日期 | 2012.01.10 |
| 申请人 | 立积电子股份有限公司 | 发明人 | 黄志伟;张介斌;陈家豪;赵传珍;庄英宗;王是琦;王永和 |
| 分类号 | G01P15/12(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市锦天城律师事务所 31273 | 代理人 | 刘民选 |
| 主权项 | 一种压阻式Z轴加速度感测器，包括：基板；多个支撑梁，设置于该基板上；多个悬臂梁，其中该些悬臂梁分别包括一压电材料层，该压电材料层埋设于悬臂梁内；以及质量块，其中，该些悬臂梁分别通过该些支撑梁将该质量块悬浮于该基板上，且该感测器利用该压电材料层侦测该质量块的位移；支撑框，形成于该基板之上并环绕该些悬臂梁、该些压电材料层与该质量块，而该些支撑梁则整合于该支撑框内，该些压电材料层从悬臂梁延伸至支撑框的一部内。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市 | ||