用于测定绕x轴和/或y轴及z轴的旋转运动的微陀螺

摘要

一种用于测定绕一x轴和/或y轴及z轴的旋转运动的微陀螺，其具有一衬底、多个振荡质量块（4，5）、多个用于将所述振荡质量块（4，5）固定在所述衬底上的弹簧、多个驱动元件和多个感测元件，所述驱动元件用于使所述质量块（4，5）中的至少个别质量块在x-y平面内发生振摆，以便在所述衬底旋转时产生科氏力，所述感测元件用于检测所述质量块（4，5）被所产生的科氏力引发的偏斜。所述质量块（4，5）中的至少个别质量块分两组布置。所述两组质量块（4，5）都能在所述驱动元件的作用在所述x轴和y轴所定义的平面内共同做振荡初级运动。所述第一组质量块（4）在所述衬底上的布置方式使其可以做偏离所述x-y平面的运动。所述第二组质量块（5）在所述衬底上的布置方式使其可以做与所述x-y平面内的振荡初级运动相垂直的运动。

主权项

一种用于测定绕一x轴和/或y轴和/或z轴的旋转运动的微陀螺，包括：一衬底，多个振荡质量块(4，5)，多个用于将所述振荡质量块(4，5)固定在所述衬底上的弹簧，多个驱动元件，用于使所述质量块(4，5)中的至少个别质量块在x‑y平面内沿径向发生相对于一中央锚件(2)的振摆，以便在所述衬底旋转时产生科氏力，所述驱动元件为电极，以及多个感测元件，用于检测所述质量块(4，5)被所产生的科氏力引发的偏斜，其特征在于，所述质量块(4，5)中的至少个别质量块分两组布置，所述两组质量块(4，5)都能在所述驱动元件的作用下在所述x轴和y轴所定义的平面内共同做振荡初级运动，第一组质量块(4)在所述衬底上的布置方式使其可以做偏离所述x‑y平面的运动，第二组质量块(5)在所述衬底上的布置方式使其可以做与所述x‑y平面内的振荡初级运动相垂直的运动，所述两组质量块(4，5)都能沿径向朝所述衬底的一中心运动，以实现所述振荡初级运动。