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Verfahren zur Spektrometrie an einer räumlich ausgedehnten Probe mit Generieren eines Maßes für eine Übereinstimmung eines erfassten Spektrums einer ersten Generation mit einem oder einer Mehrzahl von vorbestimmten Vergleichsspektren chemischer Substanzen, das die Schritte umfasst: Bestimmen mindestens eines Orts der ersten Generation auf der Probe, Bestrahlen der Probe mit elektromagnetischer Strahlung mit einer Mehrzahl von Frequenzen oder einem Frequenzband aus einem Frequenzbereich von 1 GHz bis 30 THz an dem bestimmten Ort der ersten Generation auf der Probe, frequenzaufgelöstes Erfassen eines Maßes für die Intensität der an dem Ort der ersten Generation auf die Probe gestrahlten und durch die Probe transmittierten oder von der Probe reflektierten elektromagnetischen Strahlung als Spektrum der ersten Generation und Berechnen jeweils eines Maßes für eine Übereinstimmung des erfassten Spektrums der ersten Generation mit einem der Vergleichsspektren. Um ein entsprechendes Verfahren zur Spektrometrie an einer räumlich ausgedehnten Probe, aber auch ein dafür geeignetes Spektrometer bereitzustellen, welche die Generierung zuverlässiger Messergebnisse ermöglichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass wenn das berechnete Maß für die Übereinstimmung des erfassten Spektrums der ersten Generation mit einem der Vergleichsspektren in einem vorgegebenen Bereich liegt, durch Ausführen der folgenden Schritte ein Maß für eine Übereinstimmung mindestens eines erfassten Spektrums einer zweiten Generation mit jedem der Vergleichsspektren generiert wird: Bestimmen einer vorgegebenen Anzahl von Orten der zweiten Generation, so dass alle Orte der zweiten Generation auf der Probe voneinander und von dem Ort der ersten Generation verschieden sind und alle Orte der zweiten Generation auf der Probe in einem vorgegebenen Bereich um den Ort der ersten Generation herum angeordnet sind, Bestrahlen der Probe mit elektromagnetischer Strahlung mit der Mehrzahl von Frequenzen oder dem Frequenzband aus einem Frequenzbereich von 1 GHz bis 30 THz an den Orten der zweiten Generation auf der Probe, frequenzaufgelöstes Erfassen jeweils eines Maßes für die Intensität der an den Orten der zweiten Generation auf die Probe gestrahlten und durch die Probe transmittierten oder von der Probe reflektierten elektromagnetischen Strahlung als Spektren der zweiten Generation und Berechnen jeweils eines Maßes für eine Übereinstimmung eines jeden Spektrums der zweiten Generation mit jedem der Vergleichsspektren. |
