主权项 |
一种光学量测装置,包括:一光源模组,提供一光线;一光耦合模组;一参考镜组;以及一处理单元;其中,该光源模组的该光线经由该光耦合模组传递至该参考镜组以及一待测物,该光线被该参考镜组、该待测物反射后分别形成一第一光线以及一第二光线,该第一光线、该第二光线透过该光耦合模组传递至该处理单元,其中,该处理单元依据该第一光线与该第二光线产生提供一调整信号,该处理单元将该调整信号传送至该参考镜组,该参考镜组依据该调整信号调整该参考镜组,其中该参考镜组包括一致动器以及一反射镜,且该致动器依据该调整信号调整该反射镜的一曲率。
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