制造场效电晶体的方法、场效电晶体、显示装置以及电磁波侦测器

主权项

一种制造场效电晶体的方法，该场效电晶体包括：基板、闸极、闸极绝缘膜、源极、汲极、像素电极、以氧化物半导体为主成份的氧化物半导体层、以及以无机材料为主成份的无机绝缘层，该制造场效电晶体的方法包括：形成包括该源极、该汲极或该像素电极之至少一种的导电层；形成无机绝缘层，以覆盖该导电层和该氧化物半导体层；以光阻形成法在该无机绝缘层上形成光阻膜；将该光阻膜曝光成图案形状；以及使用显像剂使已曝光的该光阻膜显像，以形成光阻图案，且使用该显像剂作为蚀刻液体，以将该无机绝缘层被该光阻图案所曝露的曝露区域去除，藉此使该导电层的一部份曝露。