发明名称 线上宝石养成系统
摘要
申请公布号 TWI494887 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW103111670 申请日期 2014.03.28
申请人 吴允瀚 发明人 吴允瀚
分类号 G06Q50/04;C23C16/26;H01L21/205 主分类号 G06Q50/04
代理机构 代理人
主权项 一种线上宝石养成系统的程式,用以提供使用者在远端利用网路对化学气相沉积装置(CVD)进行各项观察与控制之功能,其包括以下之程式码:一设备租用管理程式,当使用者向设备提供站租用设备时,设备提供站便输入租用时间,以便系统将使用者代号与设备代号在此有效租用期间内建立连结关系;以及一电力与气体之计量程式,当使用者向设备提供站购买单位量之电力与气体后,由设备提供站将此单位量增加至使用者可以使用的额度之中,而使用者累积所使用掉的单位量,程式亦会将之统计后并于额度之中扣除;以及一资料库,用以记录各设备提供站之每一台化学气相沉积装置(CVD)之乙太网路界面位址,与设备当前之租用状况和与所租用的使用者之对应关系,另外也记录使用者所购买或已使用的气体与电力之相关数据;以及一使用者界面,该使用者界面至少提供各种气体与电力之购买量和剩余量等数据之显示栏位,以及后续各种气体之流量及电力之用电量等控制参数之输入栏位。
地址 台南市永康区中华路12号6楼之3