发明名称 |
不純物拡散層形成組成物、不純物拡散層付き半導体基板の製造方法及び太陽電池素子の製造方法 |
摘要 |
本発明は、ドナー元素を含む化合物又はアクセプタ元素を含む化合物と、分散媒と、下記一般式(I)で示される化合物と、を含有する不純物拡散層形成組成物を提供する。下記一般式(I)中、R1及びR2はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、R3はアルキレン基を表す。nは1以上の任意の整数を示す。 |
申请公布号 |
JPWO2013125252(A1) |
申请公布日期 |
2015.07.30 |
申请号 |
JP20140500609 |
申请日期 |
2013.01.10 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
織田 明博;吉田 誠人;野尻 剛;倉田 靖;町井 洋一;岩室 光則;清水 麻理;佐藤 鉄也;芦沢 寅之助 |
分类号 |
H01L21/225;H01L31/068;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/225 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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