基板支撑装置

摘要

本发明提供了一种基板支撑装置，包括旋转夹盘、第一流量控制器、第二流量控制器、数个定位销和数个导柱，及驱动器。用于支撑基板的旋转夹盘开设有数个第一注入口和数个第二注入口，数个第一注入口与第一气体通道连接以向基板喷射气体并利用伯努利原理吸附保持基板，数个第二注入口与第二气体通道连接以向基板喷射气体并吹浮起基板。第一流量控制器和第二流量控制器分别安装在第一气体通道和第二气体通道上。数个定位销和数个导柱分别布置在旋转夹盘的顶表面且每个导柱凸伸形成支撑部。驱动器驱动旋转夹盘旋转。

主权项

一种基板支撑装置，其特征在于，包括：旋转夹盘，用于支撑基板，所述旋转夹盘开设有数个第一注入口和数个第二注入口，所述数个第一注入口与第一气体通道连接以向基板供应气体并利用伯努利原理吸附保持基板，所述数个第二注入口与第二气体通道连接以向基板供应气体并吹浮起基板；第一流量控制器安装在所述第一气体通道上以控制供应至所述数个第一注入口的气体的流量；第二流量控制器安装在所述第二气体通道上以控制供应至所述数个第二注入口的气体的流量；数个定位销布置在所述旋转夹盘的顶表面以在所述基板进行预定工艺时防止基板的水平移动；数个导柱布置在所述旋转夹盘的顶表面，每个导柱凸伸形成支撑基板的支撑部；及驱动器，用于旋转所述旋转夹盘。