摘要 |
<p>공구 포트와 결합하기 위한 기판 캐리어의 퍼지 포트에 장착된 브리더 어셈블리. 다양한 실시양태에서, 상기 브리더 어셈블리는 공구 포트에 결합시키기 위한 평면 또는 오목 장착면을 제공하는 그로밋을 포함한다. 일 실시양태에서, 상기 그로밋은 "고형의 유연한" 구성이고, 상기 장착면은 형상을 실질적으로 변경시키지 않고 공구 포트의 마우스에 적응된다. 다른 실시양태에서, 상기 그로밋은 "신축 유연한" 구성이며, 상기 그로밋은 공구 포트와 체결될 때 형상을 변경한다. 상기 그로밋은 공구 포트를 향하는 방향으로 가해진 힘(압력-면적 곱)이 공구 포트로부터 떨어진 방향으로 가해지는 힘보다 더 크게 구성됨으로써, 그로밋과 공구 포트 사이의 밀봉을 향상시킨다.</p> |