发明名称 |
一种测校长程电机导轨非正交性方法 |
摘要 |
本发明提供一种测校长程电机导轨非正交性方法,通过测量导轨安装的非正交性,易于操作,简单方便;以干涉仪坐标系为基准,测量编码尺坐标系相对干涉仪坐标系的增益和非正交性,提高测量精度;当干涉仪坐标系相对理想坐标系的非正交和增益变化时,编码尺坐标系也可以实时变化。 |
申请公布号 |
CN104807399A |
申请公布日期 |
2015.07.29 |
申请号 |
CN201410043858.6 |
申请日期 |
2014.01.29 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
唐彩红 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种测校长程电机导轨非正交性方法,其特征在于,包括:步骤一:将定位台Y向的伺服测量系统设置为编码尺,X向伺服测量系统设置为干涉仪;步骤二:将定位台沿X向运动,其余自由度均设为零;步骤三:在运动过程中采样获取X向编码尺读数、X向干涉仪读数以及Y向干涉仪读数;步骤四:根据X向编码尺读数和X向干涉仪读数,拟和计算编码尺坐标系X向相对干涉仪坐标系X向的增益;同时根据X向干涉仪读数和Y向干涉仪读数,拟和计算编码尺坐标系X向相对干涉仪坐标系X向之间的夹角;步骤五:将定位台Y向的伺服测量系统设置为干涉仪,X向伺服测量系统设置为编码尺;步骤六:将定位台沿Y向运动,其余自由度均设为零;步骤七:在运动过程中采样获取Y向编码尺读数、Y向干涉仪读数以及X向干涉仪读数;步骤八:根据Y向编码尺读数和Y向干涉仪读数,拟和计算编码尺坐标系Y向相对干涉仪坐标系Y向的增益;同时根据Y向干涉仪读数和X向干涉仪读数,拟和计算编码尺坐标系Y向相对干涉仪坐标系Y向之间的夹角,即可获取所述导轨的非正交性。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |